Rundtische DMT

Ultraflacher Rundtisch mit großer Hohlwelle. In der Halbleiterfertigung und Inspektion eingesetzt, eignen sich die extrem flachen, dynamischen und wartungsfreien Drehachsen für Anwendungen in denen eine hohe Positioniergenauigkeit und Gleichlaufgüte gefordert ist. Die kippsteife, spielfreie Konstruktion erreicht trotz geringer Höhe eine hohe Drehmomentdichte. Die hochauflösenden Encoder stehen als inkrementelle Ausführung oder mit absoluter Schnittstelle zur Verfügung. Die große Hohlwelle erlaubt das Durchführen von ganzen Wafern bis 12 Zoll Größe oder Anwendungen mit Durchlicht. CAD-Daten und technische Datenblätter stehen Ihnen zum Download bereit.