Positionierungslösungen, um den Durchsatz in Ihrem Belichtungsprozess zu verbessern. Für das ultrapräzise Belichten einzelner Bauelemente auf bspw. einem Wafer, bieten wir hochgenaue, einbaufertige Präzisionssysteme für Ihre Belichtungsaufgaben an, die mit hoher Dynamik bewegen und positionieren oder eine definierte Position stabil halten.